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十一五国家02科技重大专项
“300mm极大规模集成电路用Al、Ti、Ta 靶材制造技术研究与开发”项目，列入十一五国家科技部极大规模集成电路配套设备与工艺重大专项（02重大专项..
更多 2020-03-10
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国家高技术研究发展计划（863计划）
国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目“超大规模集成电路制造用铝和钽溅射靶材产业化关键体育投注网站技术研究”项目，列入国家高技术研究发展计划（863计划）引导项目..
更多 2020-03-10